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어플라이드, AI 시대 겨냥 차세대 로직 공정 신제품 3종 공개

어플라이드, AI 시대 겨냥 차세대 로직 공정 신제품 3종 공개

어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)가 인공지능(AI) 확산에 따른 반도체 기술 패러다임 변화에 대응하기 위해 ▲GAA 트랜지스터 나노시트 표면을 원자 수준으로 정밀 처리하는 Viva 라디칼 처리 시스템, ▲옹스트롬 수준의 3D 트렌치 형성을 구현하는 Sym3 Z Magnum 식각 시스템, ▲기존 텅스텐을 대체하는 몰리브덴 콘택트로 저항을 낮추는 Spectral ALD 시스템 등 신제품 3종을 공개했다.

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기술기고문

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